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產品特點:
* 泄漏率小于1*10-9mbar·L/s
* 內表面光潔度高
* 原材料均經過高溫烘烤除氣處理
* 可適用于各類法蘭接口

 

服務范圍:
* MOCVD、PECVD、LPCVD等各類CVD腔體定制
* 蒸發、濺射、離子鍍等各類PVD腔體定制
* 真空電極等非標件定制


案例:

定制適用于直寫式電子束蒸發設備的不銹鋼高真空工藝腔體


質量保證:
1、本產品使用過程中如遇故障,我們將快速響應,并提供適宜的技術支持。
2、由技術人員提供上門服務(產品安裝調試、技術講解及操作指導等)。
3、可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、
隨機工具等)。

 

昭信半導體承諾:所有產品出廠前均經過嚴格的質量檢驗與性能測試,您可放心選用。


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