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隨著半導體器件和紫外LED的應用領域逐步擴展,市場對高溫外延設備的需求日益強烈。對傳統MOCVD設備進行改造,
既可以降低外延廠家前期設備投入,也可以實現原MOCVD設備外延芯片的多樣化,豐富外延生產線。MOCVD高溫化改造
是外延廠家實現高溫外延最迅速、最高效的低成本途徑


服務形式:
采用昭信半導體自主研制的全金屬構架加熱器,提高加熱器工作溫度;對原設備中涉及溫度升降與管理的水、電、控
制系統進行合理的更換或優化,以最小的軟硬件改動實現設備高溫化需求。

 

技術特性:
* 工作溫度:盤面最高工作溫度可達1400℃以上
* 高均勻性:三區盤面溫度均勻性在1℃以內
* 高重復性:同一升溫配方,盤面溫度重復性在2℃以內
* 高可靠性:全金屬結構更好抑制加熱器高溫變形,提高加熱器壽命


案例:

GaN型MOCVD設備    改造后石墨盤面工作溫度提升至1350℃

 

質量保證:
1、設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。
保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障,我們將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、由技術人員提供上門服務(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、
隨機工具等)。

 

昭信半導體承諾:所有設備出廠前均經過嚴格的質量檢測與功能調試,您可放心選用。

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