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量產型MOCVD

 

產品介紹:

量產型MOCVD設備主推GaN 72*2"款型,是經過精確計算外延過程投入與產出關系后,定型的可獲取最優比例的機型。
設備采用昭信半導體自創BDS氣體分配系統技術,支持片狀加熱電爐或鎢絲加熱電爐,石墨盤表面最高工作溫度可達
1300℃以上。采用MO源與建立反應腔流場氣體分離輸送的技術,便于各型號進行無縫升級;核心組件均為自主設計、
生產制造,維護維修成本低。設備可選配中心在線紅外測溫系統與機械手自動取放石墨盤系統,最大限度減少量產
過程的人為干預。該系列設備具有外延質量高、生產效率高、自動化程度高、升降溫度速率快等優點,是生產企業
進行批量外延生長的理想產品

 

型號:BDS 72*2"
應用領域:藍光LED、綠光LED、半導體激光器、半導體探測器等化合物半導體材料制備。

 

技術特性:
* 極高氣體流程均勻性和重復性
* 石墨盤表面最高工作溫度可達1300℃以上
* 可實現高速、高質量GaN等材料生長,生長速度可達30um/h以上

 

質量保證:
1、設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。
保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障,我們將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、由技術人員提供上門服務(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、
隨機工具等)。

 

昭信半導體承諾:所有設備出廠前均經過嚴格的質量檢測與功能調試,您可放心選用。

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