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昭信半導體與中科院某研究所達成合作協議:老款科研型MOCVD升級改造

發布日期:2015-11-06

      祝賀昭信半導體與中科院某研究所達成了合作協議!本次合作內容為對研究所一臺MOCVD設備的流場及附帶硬件和管路進行改造升級,提高設備均勻性和重復性。該款科研型MOCVD設備的三族源氣體是通過三路管路注入腔體,五族源氣體是通過兩路管路注入腔體,外延均勻性由每一路三族源及五族源氣體進氣流量進行調節,導致影響外延均勻性的參數多,工藝窗口小,科研研究中新工藝的均勻性難以控制,影響各項研究的進展。

      雙方于日前達成合作協議,由昭信半導體提供全套解決方案,對設備的流場及附帶硬件和管路進行改造升級,提升設備性能。

      昭信半導體堅持以優良的產品和服務融入科研高校,在客戶中引起強烈共鳴和反響,客戶充分肯定和認可昭信半導體在MOCVD設備領域的設計和改造能力。

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